 德国工业CT RayScan Nano®纳米CT |
| RayScan Nano® 系统非常适合纳米尺寸级别上的新材料的研发, 特性描述及分析，如集成电路及生物工程的切片,样品等。同时在经典的冶金学上的特性描述及最优化的制造过程的应用上，与最近的其它 CT 产品比较而言该系统提供改良的结果是具有非同寻常的意义的. |
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RayScan Nano® 系统具有全三维，无损且具有较高空间分辨率特性，是探索物质结构和化学特性描述强大的工具。系统包括性能出众的射线源，其具有< 150 nm 超小焦点直径和较高的光度和性能，与超精主机系统和光量子计数能量感应型探测器组合，该系统的空间采样精度可达 60 nm - 10 µm。
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X-射线源 纳米级焦点, 最高 60 kV
焦点尺寸 最小 0.15 µm
X-射线探测器 高速光量子计数型平板,探测器
主机结构 计量级花岗石基础件
扫描范围 从 0,1 x 0,1 mm 至 100 x 100 mm
细节分辨能力 最小 50 nm |
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